晶圆检测中主要设置ACS运动机构的参数以提高运动速度？

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1. 最大速度：设定ACS运动机构的最大速度可以让晶圆检查更加高效。

2. 最大加速度：设置较大的最大加速度可以减少晶圆检查中不必要的等待时间。

3. 最大减速度：设定较大的最大减速度可以让晶圆检查过程中出现的突变状态更快的恢复到平衡态。

4. 精度：设定较高的精度可以提高晶圆检查的准确度，并且保证移动的平滑性。

5. 减少极限：设置减少极限会让性能提高，从而提升晶圆检查中的效率。