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what is Confocal Sensor?

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发表于 2023-2-23 17:06:09 | 显示全部楼层 |阅读模式
Confocal传感器的工作原理是基于光学三维测量技术,它通过利用光的聚焦和反射原理来检测被测物体的表面形貌。

当Confocal传感器测量被测物体表面时,它会发射一束激光光束并将其聚焦到被测物体表面上。由于聚焦效果,只有光束的一个非常小的点被聚焦到物体表面上。该点的光线经过反射后再次通过光学系统回到Confocal传感器中,进入一个探测器中产生电信号。

当被测物体表面存在高度差时,被测点上反射回来的光线会发生偏移,使得光束只有在被测点处达到最大聚焦度,而其他地方的反射光线则不会被聚焦。因此,Confocal传感器可以根据电信号阶跃的位置来检测被测点的位置,并据此测量物体表面的高度。

由于Confocal传感器可以在非常小的范围内进行高分辨率测量,因此在各种应用领域(如半导体、制造业、生物医学等)中得到广泛应用。
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