光栅尺分辨率 1μm 但系统精度只能到 5μm，瓶颈在哪里？

huangyhg

配了 1μm 分辨率的光栅尺，但整个运动系统的精度只能到 5μm，一直找不到瓶颈。

【配置清单】
- 直线电机：无铁芯直线电机，推力 200N
- 光栅尺：1μm 分辨率，精度等级 ±3μm/m
- 导轨：精密直线导轨，预紧力可调
- 电机驱动器：FOC 正弦波驱动

【测试方法】
激光干涉仪反向测量，25°C 恒温实验室

【测试结果】
- 单向定位精度：±2μm（OK）
- 双向定位精度：±5μm（有回程差）
- 重复定位精度：±1.5μm（OK）

【初步分析】
回程差 3μm，怀疑：导轨滚动体预紧力不对称，或光栅尺读数头安装倾斜。

【疑问】
光栅尺的分辨率、精度等级、重复精度三者关系如何理解？
有哪些常见原因导致 1μm 分辨率只能发挥到 5μm 精度？