气浮轴承平台平面度校准：有哪些坑需要避开？

huangyhg

气浮轴承精密平台安装后，平面度始终无法达到标称值，想请教校准方法。

【设备配置】
- 平台：气浮轴承 + 花岗岩台面，标称平面度 1μm/100mm
- 气源：干燥压缩空气，压力 4bar
- 测试：电子水准仪网格测量

【现象】
实测平面度 3μm/100mm，比标称差 3 倍。
同一位置重复测量结果一致，排除测量误差。

【已尝试】
1. 调整三个支撑点高度（粗调）
2. 微调气膜压力平衡
3. 清洁气浮轴承表面

【疑问】
气浮平台的平面度校准有哪些系统性方法？
支撑点数量和布局对平面度有多大影响？
温度梯度是否会影响平面度测量结果？