如何框选4个pattern进行晶圆的实际分布图和理论分布图的对位

huangyhg

晶圆检测中，如果需要框选4个pattern进行对位或匹配操作，可以采用以下步骤和方法：

首先，确定需要对位的4个pattern，对于每个pattern，可以使用VisionPro的PatMax模板匹配工具进行匹配，得到其位置信息。

在得到4个pattern的位置信息之后，可以使用C#编写的代码通过对这些位置信息的处理来计算晶圆的实际分布图和理论分布图的对位或匹配操作。一般而言，可以采用以下步骤：

a. 确定晶圆的中心位置，可以使用CogFindCircleTool或者其他的模板匹配工具来实现。

b. 对于每个pattern，计算其相对于晶圆中心的位置和角度。

c. 根据4个pattern的位置和角度信息，可以计算出晶圆的实际分布图和理论分布图之间的变换矩阵。

d. 对于每个位置在理论分布图上的点，可以通过变换矩阵将其映射到实际分布图上的对应位置。

e. 对于实际分布图和理论分布图上的每个点，可以计算其差异度，以此评估对位或匹配的准确度。

一般而言，对于复杂的对位或匹配操作，可以使用VisionPro的PatMax或PatInspect工具，或者使用其他的图像处理工具来辅助实现。