什么样的晶圆需用到虚焦技术？

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虚焦技术主要应用于以下几种晶圆：

薄晶圆：薄晶圆在加工过程中容易发生弯曲和变形，使用虚焦技术可以减小晶圆的变形，提高加工精度。

大直径晶圆：大直径晶圆在加工过程中容易发生热应力和机械应力，使用虚焦技术可以减小应力，提高加工质量。

高精度晶圆：高精度晶圆要求加工精度高，使用虚焦技术可以提高加工精度。

特殊材料晶圆：一些特殊材料的晶圆，如硅基光电子材料、氮化镓材料等，由于其特殊的物理性质，使用虚焦技术可以提高加工效果。

总之，虚焦技术主要应用于对晶圆加工精度要求高、容易发生变形和应力的晶圆。"