晶圆检测中推荐一款confocal senser？

huangyhg

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我们推荐使用HORIBA Scientific的SPC-1503 Confocal Sensor，它是一款高性能的双模式激光扫描显微镜，可以用于晶圆检测。它具有高精度的分辨率，可以提供更准确的晶圆检测结果。此外，它还具有高灵敏度的探测器，可以检测晶圆表面的微小缺陷，以及自动检测功能，可以自动检测晶圆的尺寸、形状和表面缺陷。