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晶圆如何用代码实现自动校准位置?

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发表于 2023-1-7 10:16:28 | 显示全部楼层 |阅读模式
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1. 首先,使用摄像头或激光扫描仪扫描晶圆表面,获取晶圆的表面坐标和形状信息;

2. 然后,根据晶圆表面的坐标和形状信息,使用图像处理算法计算出晶圆的中心位置和最大半径;

3. 接着,使用机器视觉系统实时跟踪晶圆的位置,并实时调整晶圆的位置,使其中心位置和最大半径与计算出的位置和半径一致;

4. 最后,使用控制算法控制机械臂,将晶圆移动到计算出的中心位置和最大半径,完成晶圆的自动校准位置。
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