几何尺寸与公差论坛

 找回密码
 注册
查看: 23|回复: 0

提供一下amsl光刻机的详细制作方法

[复制链接]
发表于 2023-1-15 19:14:48 | 显示全部楼层 |阅读模式
一、准备工作:

1、准备必要的设备:激光器、放大放大器、波长调制器、控制封装、AOI激光发射器、光电探测器、模式分析仪;

2、准备光刻胶、硅膜等材料,以便光刻印刷工艺。

二、制作步骤:

1、安装激光器:根据激光器的要求安装好激光器。

2、调节波长:将波长调制器连接激光器,调节激光器的输出波长。

3、安装控制封装:将激光器、放大器、波长调制器等设备安装在一起,形成控制封装。

4、安装AOI激光发射器:将AOI激光发射器安装在固定在回波面板上。

5、安装光电探测器:安装在距离反射面板足够远的位置上。

6、安装模式分析仪:安装在距离发射器,光电探测器和发射设备足够远的位置上。

7、备好光刻胶和硅膜:准备好良好的光刻胶和硅膜,准备好完善的光刻系统。

8、光刻印刷:只需安装激光源、反射面板、AOI激光发射器、光电探测器、模式分析仪等设备,并放置光刻胶和硅膜材料,就可以进行光刻印刷工艺。
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

QQ|Archiver|小黑屋|几何尺寸与公差论坛

GMT+8, 2023-2-8 02:25 , Processed in 0.098531 second(s), 18 queries .

Powered by Discuz! X3.4 Licensed

Copyright © 2001-2021, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表